銅薄膜の熱拡散率の面内測定

本稿は、フラッシュ拡散率分析計による熱伝導率の高い銅薄膜サンプルの面内熱拡散率測定の関連理論と実験設計を詳しく説明します。熱拡散率は、材料中の温度伝播速度として説明されます。厚さ25 μmの銅薄膜上で数回実験を繰り返し、優れた再現性の他、実験データと理論モデルとの間に強い一致があることを示しています。