昇温速度 (K min⁻¹)

80xシリーズ用炉
温度範囲 -160°C～700°C* 室温～1350°C 室温～1500°C
加熱素子 シース付きNiCr（LN2冷却） CrAlFe SiC
炉内雰囲気 空気 空気 空気
熱電対タイプ K S S
最大 50 50 50
最大冷却速度 (K min⁻¹) 25 10 15
50 mm間の温度分布 ± 2°C ± 3°C ± 5°C
炉の冷却方式 空冷 空冷 水冷