80x 시리즈용 퍼니스
온도 범위 -160°C ~ 700°C* 상온(RT) ~ 1350°C 상온(RT) ~ 1500°C
가열 소자 LN2 냉각 방식의 시스(sheath)형 NiCr CrAIFe SiC
퍼니스 분위기 공기 공기 공기
열전대 유형 K S S
최대 가열 속도 (K min-1) 50 50 50
최대 냉각 속도 (K min-1) 25 10 15
50 mm 구간 온도 분포 ± 2°C ± 3°C ± 5°C
로(Furnace) 냉각 방식 공기 공기 물